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汉钟真空泵专栏
avril
 
PS-XX02组合系列
所属类别: 汉钟真空泵专栏
型号:
推荐度:
查看次数:           日期: 2011-04-17
价格: 面议¥
说的可不是某个地区的情况
  详细介绍:

干式真空泵

应用领域:半导体,光电,LED,TFT,制药,化工,太阳能,真空镀膜,热处理等。

PS系列技术参数表

机型
单位
PS80
PS160
PS180
PS602
PS902
PS1302
PS1802
抽气速率
50Hz/60Hz
 
L/min
1300/1600
2150/2600
2500/3000
8300/10000
12500/15000
18000/21600
25000/30000
m3/h
80/96
130/156
150/180
500/600
750/900
1080/1300
1500/1800
cmf
48/57
77/92
88/105
294/353
441/530
580/770
875/1050
极限真空
Torr
7.5*10-3
7.5*10-4
mbar
1*10-2
1*10-3
 
Pa
1
0.1
马达
频率
Hz
50/60
电压
V
220~440
功率
Hp
4
6
4+4
6+4
6+6
kw
2.98
4.47
2.98+2.98
4.47+2.98
4.47+4.47
连接
进气
 
NW50
ISO100
ISO160
排气
 
NW40
NW40
NW40
 
流量
L/min
3~7
冷却水
压力
kg/cm2
2.0~4
 
温度
ºC
18~30
 
接头
 
RC3/8´´
 
压力
kg/cm2
0.5~1
氮气
稀释流量
L/min
0~60
 
密封流量
L/min
0~20
 
连接
 
Swagelok1/4´´
尺寸L*W*H
mm3
814*380*663
895*405*678
920*425*650
814*380*887
895*405*943
920*425*957
920*425*1047
重量
kg
280
300
320
450
520
540
545
噪音
dB(A)
68
70
控制界面
 
SEMI E73-0299
真空泵最大漏率
mbar.l/s
1*10-5
室温操作范围
ºC
5 ºC ~40 ºC
最大操作湿度
RH
90%

 

特色

  • 螺旋真空泵浦产品特色

  汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,终极压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVDEtching等严苛制程。

  • 泵浦温度控制精准

  汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。

  • 密封马达安全性高

  PS系列真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。

  • 微电脑控制保护周全

  PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。

 

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